一、本計畫推動下一個十年半導體產業所需的前瞻元件與材料、先進製程檢測等技術的先期布局，將以科學超前佈署的創新思維，探索突破現有框架的創新解決方案，解決2030年等效次奈米半導體量產技術所需之關鍵問題，以維持台灣半導體產業持續領先的地位。
二、本計畫徵求之研究重點分為二大研究領域，計畫請從二大研究領域中，擇一申請最相關之領域(細節請參閱附件)：
(一) 領域一：Å尺度半導體關鍵檢測技術
(二) 領域三：次奈米半導體元件與晶片關鍵技術探索
三、本專案須規劃自110年11月1日至114年10月31日多年期計畫書，且以單一整合型研究計畫為限。
四、總計畫主持人限申請本專案計畫一件，並不得擔任本專案其他申請案之子計畫主持人，已為本專案之總計畫主持人或子計畫主持人仍應受本項規定之限制。其餘規定請詳閱徵求附件。
五、有意申請者請於110.8.26下午5時前完成線上作業同時副知研發處，以利彙整函送科技部申請。
六、聯絡方式：
(一) 科技部聯絡人：相關計畫內容疑問，領域一請洽自然司郭廷洋助理研究員，電話：(02)2737-7465、領域三請洽工程司潘敏治副研究員，電話：(02)2737-7983
(二) 有關系統操作問題，請洽科技部資訊系統服務專線：電話：0800-212-058、(02)2737-7590~2
附加檔案
A世代前瞻半導體技術專案計畫徵求公告(第二次徵案)【附件】研究領域說明.pdf