一、本計畫旨在建立次世代半導體材料與元件所需的核心研究能量，支持學術界就材料生長、材料行為、製程整合、元件操作及鑑測方法提出創新研究構想，建構材料–製程–元件與驗證的鏈結，補足現階段研究端與產業端在材料理解、製程評估與鑑測方法上的缺口。
二、研究範疇：半導體材料、製程與元件行為之研究；跨尺度量測、鑑測技術與資料分析方法，其餘規定請詳閱徵求附件。
三、有意申請者請於校內截止日115.2.22前完成線上申請作業同時副知研發處，以利彙整函送國科會申請。
四、聯絡方式：國科會聯絡人：自然處郭廷洋助理研究員，電話：（02）2737-7465，E-mail: tykuo@nstc.gov.tw。有關系統操作問題，請洽國科會資訊系統服務專線：電話：0800-212-058、(02)2737-7590~2。
附加檔案
